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Kin Pong Lo
Kin Pong Lo
Oxide
Epitaxy
Plasma
Substrate (chemistry)
Materials science
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Epitaxy system integrated with high selectivity oxide removal and high temperature contaminant removal
2018
Lara Hawrylchak
Kin Pong Lo
Errol C. Sanchez
Schubert S. Chu
Tushar Mandrekar
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Integrated epitaxy and preclean system
2018
Lara Hawrylchak
Schubert S. Chu
Tushar Mandrekar
Errol C. Sanchez
Kin Pong Lo
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Fenêtre à structure tubulaire légère pour procédés thermiques à basse pression
2015
Paul Brillhart
Joseph M. Ranish
Aaron Muir Hunter
Edric Tong
James Francis Mack
Kin Pong Lo
Errol Antonio C. Sanchez
Zhiyuan Ye
Anzhong Chang
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Integriertes Verfahren zur Entfernung von Halogenresten aus Ätzsubstraten durch Thermoverfahren
2007
Kenneth J. Bahng
Matthew Fenton Davis
Brett Christian Hoogensen
Mark N. Kawaguchi
Steven H. Kim
Thorsten Lill
Kin Pong Lo
Sandy M. Wen
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Procédé intégré d'élimination de résidus halogènes de substrats attaqués par un procédé thermique
2007
Kenneth J. Bahng
Matthew Fenton Davis
Brett Christian Hoogensen
Mark N. Kawaguchi
Steven H. Kim
Thorsten Lill
Kin Pong Lo
Sandy M. Wen
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