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Sadaomi Inazuki
Sadaomi Inazuki
Transition metal
Excimer laser
Molybdenum
Irradiation
Photolithography
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Photomask blank, a photomask and a light pattern irradiation method
2016
yosikawa hiroki
Hiroki Yoshikawa
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Sadaomi Inazuki
han sin ine gatu
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Tomokazu Hirose
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フォトマスクブランク又はその製造中間体の検査方法、高エネルギー線の照射エネルギー量の決定方法、及びフォトマスクブランクの製造方法
2009
Sadaomi Inazuki
Hideo Kaneko
Hiroki Yoshikawa
hiroki yosikawa
han sin ine gatu
eiyuu kaneko
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クロムレス位相シフトマスク用フォトマスクブランク、クロムレス位相シフトマスク、及びクロムレス位相シフトマスクの製造方法
2006
Sadaomi Inazuki
Hideo Kaneko
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Satoshi Okazaki
Takashi Oshima
Hiroki Yoshikawa
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takasi oosima
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satoru okazaki
han sin ine gatu
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半透明積層膜、フォトマスクブランク、フォトマスク、およびこれらの製造方法
2005
Sadaomi Inazuki
Yoshiaki Konase
Motohiko Morita
Satoshi Okazaki
Tadashi Saga
Hiroki Yoshikawa
kyou saga
hiroki yosikawa
satoru okazaki
yosinori ki naze
motohiko morita
han sin ine gatu
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