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Shinji Taruya
Shinji Taruya
Excimer laser
Alkyl
Single bond
Photoresist
Photochemistry
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1900~2024
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レジストパターン形成用表面処理剤、レジスト組成物、それらを用いたレジストパターンの表面処理方法及びレジストパターンの形成方法
2008
Satoshi Kamimura
Naoyuki Nishikawa
Kazuto Shimada
Naoya Sugimoto
Shinji Taruya
Tomotaka Tsuchimura
Yuko Yoshida
satosi kamimura
yuuko yosida
tomotaka tuti mura
kazuhito simada
naoya sugimoto
sinzi taruya
naoyuki nisikawa
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パターン形成方法、該パターン形成方法に用いられるネガ型現像若しくは多重現像用レジスト組成物、該パターン形成方法に用いられるネガ現像用現像液、及び該パターン形成方法に用いられるネガ型現像用リンス液
2007
Wataru Hoshino
Kazuyoshi Mizutani
Shinji Taruya
Hideaki Tsubaki
Kenji Wada
kenzi wada
wataru hosino
hideaki tubaki
sinzi taruya
kazuyosi mizutani
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