Old Web
English
Sign In
Acemap
>
authorDetail
>
sibano teruo
sibano teruo
6
Papers
0
Citations
0
KQI
Citation Trend
Filter By
Interval:
1900~2024
1900
2024
Author
Papers (4)
Sort By
Default
Most Recent
Most Early
Most Citation
No data
Journal
Conference
Others
Ru/(Ba,Sr)TiO 3 /Ruキャパシタ用プラグ埋込みバリア層の検討
2000
yoneda yosikazu
kuroiwa takeharu
tyou eiryuu kokorozasi
sibano teruo
oomori tatuo
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
ギガDRAM対応BST集積化技術 サイドウォール利用で凝似立体Pt電極を | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター
1999
kasiwabara keiitirou
aburaya mei sakae
okudaira tomohito
fuzita yasusi
itou hiromi
horikawa tuyosi
sibano teruo
oomori tatuo
ono kouiti
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
O2/Cl2/CF4混合ガスを用いたRuのドライエッチング
1996
matusita makoto
sibano teruo
nakamura megumi migi
oomori tatuo
kobayasi kiyoteru
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
半導体 X線転写によるRu/BST/Ruスタックキャパシタを持つIGビットDRAMセル
1996
nisioka yasutaka
horikawa tuyosi
sumitani hiroaki
sibano teruo
yuuki terumasa
kimura ryou ka
Show All
Source
Cite
Save
Citations (0)
1