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kei satosi kuri sima
kei satosi kuri sima
Spin coating
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4D3 スピンコータ内における回転円板から飛散する液滴の挙動計測 : 円板エッジ形状の影響([GS]流体工学II)
2014
yuu takagi
tosi dai hirata
mizue munakata
hiroyuki yosikawa
kei satosi kuri sima
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F14 スピンコータ内における回転円板から飛散する液滴の挙動に関する研究(F1混相流)
2011
akira noguti
jun nisiyama
taiti ooseto
mizue munakata
hiroyuki yosikawa
kei satosi kuri sima
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F15 回転円板上の境界層遷移に及ぼす液膜流れと表面粗さの影響 (F1混相流)
2011
jun nisiyama
akira noguti
taiti ooseto
mizue munakata
hiroyuki yosikawa
kei satosi kuri sima
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609 回転円板から飛散する液滴挙動に関する研究(GS 流体工学IV)
2010
akira noguti
mizue munakata
hiroyuki yosikawa
jun nisiyama
yuuhei kaneda
kei satosi kuri sima
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C14 スピンコーティングにおけるウェーハ上の境界層流れおよび液膜の乾燥速度に及ぼすカップ形状の影響(C1 流体工学1)
2007
souhei yamamoto
seiiti kimura
zin suke tanaka
mizue munakata
kei satosi kuri sima
hiroyuki yosikawa
hideki ooba
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