베어칩 포장 장치

웨이퍼(wafer)에서 베어칩을 하나씩 픽업하여 필름(film)에 형성된 복수의 포켓(pocket)에 순차적으로 집어넣고 포켓을 폐쇄하는 베어칩 포장 장치가 개시된다. 개시된 베어칩 포장 장치는, 다수의 포켓(pocket)이 길이 방향을 따라 같은 간격으로 배열된 캐리어 필름(carrier film)을 끊기지 않게 연속 공급하는 캐리어 필름 공급 유닛, 캐리어 필름 공급 유닛에서 배출된 캐리어 필름을 회수하는 캐리어 필름 회수 유닛, 캐리어 필름 공급 유닛에서 배출된 캐리어 필름을 캐리어 필름 회수 유닛까지 이송하는 캐리어 필름 피딩 유닛(feeding unit), 복수의 베어칩이 같은 평면상에 배열된 베어칩 웨이퍼(wafer)를 지지하는 웨이퍼 스테이지(stage), 웨이퍼 스테이지에서 베어칩을 픽업(pick-up)하고, 캐리어 필름 공급 유닛과 캐리어 필름 회수 유닛 사이에서 이동하는 캐리어 필름의 포켓 위에서 떨어뜨려 포켓에 탑재하는 베어칩 픽업 및 탑재 유닛, 및 베어칩이 탑재된 포켓을 커버 필름으로 덮고 씰링(sealing)하는 포켓 씰링 유닛을 구비한다.