Substrat und Werkstückträger zur Aufnahme des Substrates

Die Erfindung betrifft ein Substrat und einen Werkstucktrager zur Aufnahme des Substrates, insbesondere eines Dunnschichtsubstrates, wahrend der Prozessierung des Substrates, mit einer das Substrat positionierend aufnehmenden Aufnahme. DOLLAR A Es ist vorgesehen, das der Werkstucktrager ein Grundelement (28) zur Aufnahme des Substrates (12) umfast, das Grundelement (28) auf einem Handhabungselement (30) angeordnet ist und dem Grundelement (28) einer dem Handhabungselement (30) gegenuberliegenden Seite prozesabhangige Abdeckelemente (50) zuweisbar sind. Ferner weisen das Substrat (12) und der Werkstucktrager jeweils wenigstens ein komplementares Positionierelement (29, 31) auf, die zur Fixierung einer relativen raumlichen Lage des Substrates (12) dienen (Positioniereinheit).