펠리클 프레임, 펠리클, 리소그래피 장치 및 펠리클 프레임의 제조방법

이물질 발생을 억제하고 아웃개싱의 양이 저감된 펠리클 프레임, 펠리클, 리소그래피 장치 및 펠리클 프레임의 제조방법이 제공된다. 펠리클 프레임은 제1 물질층 및 상기 제1 물질층 상에 형성된 제2 물질층을 포함하며, 상기 제1 물질층은 상기 알루미늄을 포함하여 구성되며, 상기 제2 물질층은 상기 산화알루미늄 및 상기 전이금속을 포함하여 구성된다. 펠리클 또는 리소그래피 장치는 상기 펠리클 프레임을 포함한다. 상기 제 2물질층은 습식 산화 플라즈마 또는 건식 산화 플라즈마를 사용하여 형성한다. 펠리클 프레임, 산화알루미늄, 전이금속, 산화 플라즈마, 아웃개싱