Ein Mikroventil und ein Verfahren zur Herstellung desselben

Ein Mikroventil (10) mit folgenden Merkmalen: einem Ventilsitz (11) mit einer Ventiloffnung (12); und einer Ventilklappe (13) zum Verschliesen der Ventiloffnung (12) mit einem Abdeckabschnitt (14) der Ventilklappe (13), wobei sich in einem geschlossenen Zustand des Mikroventils (10) der Abdeckabschnitt (14) der Ventilklappe (13) in einer Ventilsitzebene (15) befindet, wobei die Ventilklappe (13) in einer Schicht (13a) mit einer Federstruktur (16) einstuckig gebildet ist, und die Schicht (13a) derart in der Ventilsitzebene (15) eingespannt ist, dass die Ventilklappe (13) eine Biegeachse (18a) aufweist, um die sich die Ventilklappe (13) bei Uberschreiten eines Offnungsschwelldruckes biegt, so dass ein Fluid durch die dann zumindest teilweise geoffnete Ventiloffnung (12) des Ventilsitzes (11) stromen kann, und dass in dem geschlossenen Zustand zumindest ein Teil der Federstruktur (16) oder ein Teil der Schicht (13a) in der die Ventilklappe (13) einstuckig ausgebildet ist, und der uber die Federstruktur mit der Ventilklappe verbunden ist, aus...