ステージ装置、ステージ制御方法、露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法

【課題】 加速終了後に生ずるステージの回転振動を抑えることで、整定時間を短縮することができるステージ装置及びステージ制御方法等を提供する。 【解決手段】 プレートＰを保持するプレートステージＰＳＴは、プレートＰを保持する基板テーブル１４と基板テーブル１４を保持する移動テーブル１５とを含んで構成される。第１プレート干渉計１７は基板テーブル１４のＸ方向の位置及びＺ軸周りの回転量を計測し、第２プレート干渉計１８は移動テーブル１５のＸ方向の位置及びＺ軸周りの回転量を計測する。主制御装置ＭＣは、第１プレート干渉計１７及び第２プレート干渉計１８の計測結果に基づいて、基板テーブル１４の回転振動が抑制されるようリニアモータ１３又はＺ・θ駆動機構１６を制御する。 【選択図】 図１