미세패턴롤의 제조방법 및 이를 위한 미세패턴롤의 제조장치
2017
미세패턴롤의 제조방법 및 이를 위한 미세패턴롤의 제조장치에서, 상기 미세패턴롤의 제조방법은, 반도체 공정을 통해 표면에 미세패턴이 양각된 마스터 평판을 제작하는 단계와, 마스터 평판을 복제해 미세패턴이 음각된 클리쉐 시트를 제작하는 단계와, 클리쉐 시트를 롤 표면에 부착하는 단계를 포함한다. 그리하여, 반도체 공정을 통해 마스터 평판이 제작되므로, 미세 패턴 깊이 제어 및 형상 제어가 용이하고, 마이크로 단위의 미세 패턴 형성이 가능하다.
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