化合物およびその製造方法、低分子化合物、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法

【課題】レジスト組成物用としての利用が期待される低分子化合物の中間体、および該化合物を用いて得られる低分子化合物を含有するポジ型レジスト組成物を提供する。 【解決手段】下記一般式（Ｉ）で表される化合物および該化合物から得られる低分子化合物を含むポジ型レジスト組成物。 【選択図】 なし