Durchlauf-Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten

Durchlauf-Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten (9), umfassend eine Vakuumbeschichtungskammer (1), welche Zwischenwande (2), die die Vakuumbeschichtungskammer (1) von jeweils einer benachbarten Kammer trennen, aufweist und von Seitenwanden (3), einer Bodenplatte (4) und einem Deckel (5) nach ausen hin verschlossen sowie uber ein Vakuumpumpsystem evakuierbar ist; eine Transporteinrichtung (8) zum Transport von zu beschichtenden Substraten (9) in einer Substrattransportebene (13); ein Magnetron (6), das mit einem Target (7) versehen ist, wobei die Targetoberflachen der Transporteinrichtung (8) gegenuberliegen, dadurch gekennzeichnet, dass eine als Jalousie oder Rollo ausgebildete bewegliche Abdeckung (12) zwischen Seitenwanden (3), Zwischenwanden (2) und uber der Transporteinrichtung (8) ausfahrbar, die Transporteinrichtung (8) abdeckbar, an einer Seite der Vakuumbeschichtungskammer (1) angelenkt ist.