Apparatus and method for increasing the security of a substrate for preventing overheating of a treatment plant

Vorrichtung zur Erhohung der Sicherheit eines Schutzes einer beheizten Substratbehandlungsanlage vor Uberhitzung, wobei die Substratbehandlungsanlage (8) aus mehreren Anlagenbereichen (1, 7) besteht, in denen sich jeweils eine Behandlungskammer (2) befindet, an der jeweils mindestens ein mit einer Heizersteuerung (6) verbundener Heizer (3) angeordnet ist, welcher an der Beheizung der Behandlungskammer (2) teilhat, wobei die Vorrichtung wenigstens ein eine Abschaltung des Heizers bei Uberhitzung bewirkenden Temperaturschalter (9), bestehend aus einem Temperatursensor (4) und einer Auswerteeinheit (5) umfasst, dessen Temperatursensor (4) in der zu uberwachenden Behandlungskammer (2) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass – der Temperatursensor (4) aus mindestens zwei Teilsensoren (10; 11; 12) besteht, die raumlich getrennt in der Behandlungskammer (2) angeordnet sind, – dass die Teilsensoren (10; 11; 12) in Bereichen der Behandlungskammer (2) angeordnet sind, die die geringste thermische Kontrolle, dh den grostmoglichen Abstand zu warmeabfuhrenden oder temperaturgeregelten Bauteilen aufweisen, dass die Teilsensoren (10; 11; 12) als Thermoelemente ausgebildet sind und – dass die Thermoelemente (10; 11; 12) parallel geschaltet sind.