洗浄やエッチング、現像、剥離等を含むウエット処理に用いる省液型の液体供給ノズル、ウエット処理装置及びウエット処理方法

(57)【要約】 【課題】ウエット処理液の使用量を従来の１０分の１以 下へと低減することができ、しかも従来よりも高い清浄 度を得ることができる省水型のウエット処理液供給ノズ ル、ウエット処理装置及びウエット処理方法を提供する こと。 【解決手段】 導入口７を有する導入通路１０と排出口 １５を有する排出通路１２とを形成し、導入通路１０と 排出通路１２とをそれぞれの他端において交差せしめて 交差部１４を形成するとともに交差部１４に、被処理物 １に向けて開口する開口部６を設けてなるノズル構成体 ５０と、開口部６を介して被処理物１に接触したウエッ ト処理液がウエット処理後に、排出通路１２外に流れな いように、被処理物１と接触しているウエット処理液の 圧力と大気圧との差を制御するための圧力制御手段１３ とを少なくとも排出通路１２側に有することを特徴とす る。