洗浄やエッチング、現像、剥離等を含むウエット処理に用いる省液型の液体供給ノズル、ウエット処理装置及びウエット処理方法
1996
(57)【要約】
【課題】ウエット処理液の使用量を従来の10分の1以 下へと低減することができ、しかも従来よりも高い清浄 度を得ることができる省水型のウエット処理液供給ノズ ル、ウエット処理装置及びウエット処理方法を提供する こと。
【解決手段】 導入口7を有する導入通路10と排出口 15を有する排出通路12とを形成し、導入通路10と 排出通路12とをそれぞれの他端において交差せしめて 交差部14を形成するとともに交差部14に、被処理物 1に向けて開口する開口部6を設けてなるノズル構成体 50と、開口部6を介して被処理物1に接触したウエッ ト処理液がウエット処理後に、排出通路12外に流れな いように、被処理物1と接触しているウエット処理液の 圧力と大気圧との差を制御するための圧力制御手段13 とを少なくとも排出通路12側に有することを特徴とす る。
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