A method for compensating for non-rotationally symmetric aberrations in an optical system

Verfahren zum Ausgleich von nicht rotationssymmetrischen Abbildungsfehlern in einem optischen System, durch welches ein Lichtbundel gefuhrt wird, insbesondere in einer Projektions-Belichtungsanlage der Mikrolithographie, insbesondere mit schlitzformigem Bildfeld oder nicht rotationssymmetrischer Beleuchtung, a) mit einer Lichtquelle; b) mit einem optischen Element, insbesondere einer Linse oder einem Spiegel, das ba) mindestens eine mit Strahlung der Lichtquelle beaufschlagte Oberflache aufweist; und bb) dessen Grundform zumindest im Bereich der mindestens einen mit Strahlung beaufschlagten Oberflache bezuglich einer Rotations-Symmetrieachse im wesentlichen symmetrisch ist; wobei c) das optische Element oder dessen Gehause verdrehbar mit einem Rahmen uber mindestens ein Lager verbunden ist; d) ein Aktuator vorgesehen ist, der an dem optischen Element oder dessen Gehause zu dessen Verdrehung um die Rotations-Symmetrieachse angreift; e) der Aktuator mit einer Steuereinrichtung zusammenarbeitet, die den Aktuator zumindest zeitweise in dem Zeitraum, in dem das optische Element einer Belichtung ausgesetzt ist, zur Verdrehung des optischen Elements ansteuert; gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: f) Verdrehen des optischen Elements (25) um einen bestimmten Drehwinkel; g) entgegengesetztes Verdrehen des optischen Elements um einen bestimmten Gegen-Drehwinkel.