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大気圧以下の圧力での狭ギャップVHFプラズマを用いたSiに対するペルフルオロカーボン(PFC)フリードライエッチング法
大気圧以下の圧力での狭ギャップVHFプラズマを用いたSiに対するペルフルオロカーボン(PFC)フリードライエッチング法
2010
Ohmi Hiromasa
Kishimoto Kazuya
Kakiuchi Hiroaki
Yasutake Kiyoshi
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