Dispositif de transport en levitation magnetique

Dans un tunnel, dans lequel est maintenu un vide pousse ou bien qui est rempli d'une atmosphere extremement propre, un chariot de transport (3) est deplace par un systeme de levitation electromagnetique. A l'exterieur du tunnel (1) sont places des electroaimants (4) servant a mettre en levitation, par electromagnetisme, le chariot de transport (3) qui se deplace dans ledit tunnel (1), sans contact, et transporte des plaquettes en semi-conducteur, des electroaimants (6) constituant un moteur lineaire destine a l'entrainement du chariot de transport (3), et des capteurs de deplacement (8) destines a capter le degre de levitation du chariot de transport (3) dans le tunnel (1). De cette facon, il n'y a pas de production de gaz et les plaquettes en semi-conducteur (22) ne sont pas contaminees. En outre, lorsque le chariot de transport (3) opere un changement de direction a 90°, au niveau de l'intersection de deux pistes formant un angle droit, dans le tunnel (1), les electroaimants (4) sont places parallelement aux pistes respectives et sont commandes de sorte que leur degre d'excitation change graduellement. Ainsi, le chariot de transport (3) peut changer de direction en douceur, sans venir en contact avec la paroi interieure du tunnel (1), et les plaquettes en semi-conducteur (22) ne peuvent donc pas etre endommagees par des collisions ou des incidents de ce genre.