Scanning charged particle beam device, and chromatic spherical aberration correcting method

収差補正器を備えた走査荷電粒子線装置での傾斜観察において、特定の光学系によらず、色球面収差による分解能低下の抑制を図る。 走査荷電粒子線装置の制御部は、試料の傾斜観察における色球面収差の測定方法を提供し、更に、試料の傾斜観察において色収差制御機能を有し、観察する傾斜角(t1)およびこの傾斜角と軸対称の関係にある傾斜角(-t1)において、色球面収差および色収差によって試料面と平行な方向に生じる画像のボケを抑制するため、この色収差制御機能により色収差が0となる状態よりも正もしくは負になるよう制御する。