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미세 Cu 배선 적용을 위한 SiNx/Co/Cu 박막구조에서 Co층이 계면 신뢰성에 미치는 영향 분석
미세 Cu 배선 적용을 위한 SiNx/Co/Cu 박막구조에서 Co층이 계면 신뢰성에 미치는 영향 분석
2020
Hyeonchul Lee
Minsu Jeong
Gahui Kim
Kirak Son
Young-Bae Park
Keywords:
Chemical engineering
Materials science
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