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電子線誘起電流 (EBIC) 法を用いた多結晶シリコンにおける粒界の電気的活性度評価
電子線誘起電流 (EBIC) 法を用いた多結晶シリコンにおける粒界の電気的活性度評価
2006
sekiguti takasi
itou syun
Keywords:
Metallurgy
Grain boundary
Materials science
Ceramic materials
hydrogen passivation
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