Verfahren zur Prüfung, insbesondere zur Haarriß- und Strukturprüfung, von Siliziumscheiben

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer Vorrichtung zur Prufung, insbesondere zur Haarris- und Strukturprufung, von mono- oder polykristallinen Siliziumsubstraten, insbesondere von polykristallinen Siliziumscheiben zur Bildung von Solarzellen, mit einer Erzeugung von breitbandigen numerischen Signalfolgen und Hullkurvenverlaufen durch einen digitalen Signalprozessor, einer Abgabe der erzeugten Signalfolgen und Hullkurvenverlaufe auf ein Siliziumsubstrat, einer Aufnahme der Systemantwort des Siliziumsubtrats, einer Echtzeitverarbeitung der Rohdaten der Systemantwort und anschliesender Echtzeit-Fouriertransformation, einem Vergleich von erhaltenen Frequenz- und Zeitverlaufen mit Referenzdaten und einer Ausgabe eines Vergleichsergebnisses, insbesondere entweder "tauglich" oder "nicht tauglich".