Procédé de fabrication d'un réseau de diffraction, spectrophotomètre et procédé de fabrication de dispositif à semiconducteur

L'invention porte sur un procede qui permet de fabriquer un reseau de diffraction ideal pour un spectrophotometre, ledit reseau de diffraction comportant une protuberance dont l'angle sommital est d'environ 90 degres et offrant une grande efficacite de diffraction et une faible quantite de lumiere parasite. Le procede selon l'invention est caracterise en ce que l'exposition s'effectue dans des conditions telles que la forme de coupe transversale d'une protuberance formee par exposition dans une reserve sur un substrat est celle d'un triangle asymetrique et que l'angle forme par les cotes long et court de la forme du triangle par rapport a la forme d'une partie d'ouverture d'un masque comportant des parties d'ouverture dans une structure periodique est d'environ 90 degres.