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Eine vielversprechende Technologie zur Integration von MEMS auf CMOS-Schaltungen
Eine vielversprechende Technologie zur Integration von MEMS auf CMOS-Schaltungen
2008
Mieke Van Bavel
Lou Hermans
Ann Witvrouw
Keywords:
Electronic engineering
Microelectromechanical systems
CMOS
Materials science
Optoelectronics
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