角速度センサ、加速度センサ及び角速度／加速度兼用センサ

(57)【要約】 【課題】 簡単な構造で、角速度を高感度に検出できる 角速度センサを提供する。 【解決手段】 振動子１２の中央部位に重り取付部１３ ａと重り１４とを合わせて重り部を形成し、この重り部 １３ａ，１４を４本の捩りバネ部１３ｂ１〜１３ｂ４及 び４本のアーム部１３ｃ１〜１３ｃ４を介して振動させ るために、４本のアーム部１３ｃ１〜１３ｃ４にそれぞ れ一体的に設けた４個の振４動発生部材１５ａ〜１５ｄ と、角速度が加わった時に重り部１３ａ，１４に加わる コリオリ力を検出して角速度を求めるために、４本の捩 じりバネ部１３ａ，１４にそれぞれ一体的に設けた４個 の振動検出部材１６ａ〜１６ｄとを備え、４個の振動検 出部材１６ａ〜１６ｄの各出力を組み合わせて加減算す ることで、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の角速度を検出するこ とを特徴とする角速度センサ１０を提供する。