在SrTiO3,LaAlO3和Y—ZrO2衬底上外延生长La1.85Sr0.15Cuo4,La2CuO …
2000
利用脉冲激光法研究了在(100)SrTiO3(STO)、(100)LaAlO3(LAO)和(100)Y-ZrO2(YSZ)衬底上外延生长LaCuO4(LCO),La1.85Sr0.15CuO4(LSCO),Nd1.85Ce0.15CuO4(NCCO)和Pr2CuO4(PCO)薄膜的工艺技术。利用X光衍射仪检测了不同条件下制备的薄膜样品结构和取向。X射线衍结果表明,在事适的制膜条件下可以在这三种衬底
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