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Dispositif d'amortissement

2010 
L'invention porte sur un dispositif d'amortissement d'un element optique (1) d'une machine d'exposition par projection, le dispositif comprenant au moins deux amortisseurs de vibrations (3), disposes de facon espacee l'un de l'autre, les amortisseurs de vibrations (3) ayant chacun au moins une masse d'amortisseur (30) et au moins un element d'amortissement (32), et les masses d'amortisseur (30) des au moins deux amortisseurs de vibrations (3) etant interconnectes au moyen d'au moins un element de liaison. L'invention porte en outre sur un element optique (1) d'une machine d'exposition par projection et sur une machine d'exposition par projection.
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