CAPTEUR DE PRESSION CAPACITIF PROTEGE CONTRE LES COURT-CIRCUITS

Le but de ce travail, consiste a etudier un capteur de pression capacitif protege contre les court-circuits. Cette protection est obtenue mecaniquement en realisant un plot au milieu du capteur qui supprime les possibilites de contact entre l'armature deformable en silicium et l'electrode metallique fixe.