고기능성 글러브박스 고순도 질소발생장치

본 발명은 글러브박스에 고순도 질소를 공급하는 고기능성 글러브박스 고순도 질소발생장치로서, 외부의 공기를 흡입한 후 압축하여 압축공기를 공급하는 에어컴프레셔부; 상기 에어컴프레셔부에서 공급된 압축공기의 수분을 배출하는 배수분리기; 상기 배수분리기에서 공급되는 압축공기의 수분을 제거하는 B type 실리카겔 충전층으로 채워진 반응기와 반응기의 둘레에 배치되어 실리카겔에 흡수된 수분을 제거하는 밴드히터를 포함하는 1차 수분제거부; 상기 1차 수분제거부로부터 공급되는 압축공기에서 먼지 및 불순물을 제거하는 필터부와 필터부를 통과하여 유입되는 압축공기에서 확산속도가 빠른 산소는 산소배출구를 통하여 제거하고, 확산속도가 느린 질소는 질소공급구를 통해 공급하는 멤브레인(membrane) 모듈부를 포함하는 고순도 질소생산부; 상기 고순도 질소생산부에서 공급되는 질소가스의 공급 압력을 조절하는 레귤레이터; 및 상기 레귤레이터에서 압력이 조절된 질소가스 내의 수분 및 파티클을 제거하는 A type의 실리카겔 충전층으로 채워진 반응기를 포함하는 2차 수분제거 및 파티클 제거부를 포함하는 것을 특징으로 한다.