Microsystème OCT plein-champ multi-canaux à base de composants MOEMS intégrés verticalement

Ce papier presente la conception et les briques d’un systeme OCT dedie au diagnostic de pathologies de la peau. Le systeme est base sur une approche plein-champ multicanaux grâce a une architecture Mirau matricielle, combinant une source a balayage en longueur d’onde realisee par filtrage et de l’interferometrie a decalage de phase pour l’elimination des termes miroirs. L’interferometre de Mirau, en particulier, est realise par des techniques de fabrication collective et d’integration verticale multi-substrat, permettant une reduction significative de la taille et des couts de fabrication du systeme.