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2a-YF-3 低速電子線衝撃により生成した窒素プラズマを用いるシリコンオキシナイトライド薄膜の低温形成 : 光電子分光法による観測
2a-YF-3 低速電子線衝撃により生成した窒素プラズマを用いるシリコンオキシナイトライド薄膜の低温形成 : 光電子分光法による観測
1998
tosiko mizo kuro
gi rei nakato
kenzi yoneda
yosihiro ko tokoro
hikari kobayasi
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