Evidence for mixed-phase crystalline β-C3N4 and c-BN films

1996 
In this paper strong experimental evidence is presented suggesting that we have synthesized the β-C3N4 phase. This is a material predicted by theory to have comparable property to diamond. The films containing mixed-phase crystalline β-C3N4 and c-BN were deposited on steel substrate Ck 35 by a hot filament assisted r. f. plasma CVD method using organo-metallic precursor. The crystal structure of these mixed-phases was identified by X-ray diffraction (XRD) as well as transmission electron diffraction analysis (TED). Experimentelle Nachweise von mischphasigen kristallinen β-C3N4 und c-BN Schichten In diesem Aufsatz werden eindeutige experimentelle Nachweise uber die erfolgreiche Herstellung der β-C3N4 Phase vorgestellt. Diesem Material werden in theoretischen Berechnungen diamantahnliche Eigenschaften vorausgesagt. Die Schichten aus den gemischten Phasen β-C3N4 (kristallin) und c-BN wurden auf einem Ck 35 Stahl durch ein Heizdraht unterstutztes r. f. Plasma CVD Verfahren unter Verwendung von metallorganischen Spendermedien abgeschieden. Die Kristallstrukturen dieser Mischphasen wurden sowohl mittels Rontgendiffraktometrie (XRD), als auch durch Elektronenbeugung (TED) analysiert.
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