中性（NH4）2S溶液钝化GaAs（100）表面的研究

采用同步辐射光电子能谱（ＳＲＰＥＳ）结合扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和称量法，研究了中性（ＮＨ４）２Ｓ溶液钝化ＧａＡｓ（１００）表面，并与常规（ＮＨ４）２Ｓ碱性溶液钝化方法进行了比较，ＳＲＰＥＳ结果表明该处理方法可以产生较厚的Ｇａ硫化物层和较强的Ｇａ－Ｓ键，Ｇａ的硫化物有好的稳定性，称量法表明该方法有更低的腐蚀速度，ＳＥＭ结果表明该方法钝化处理的ＧａＡｓ表面所产生的腐蚀抗数目少。直径小。