粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法

【課題】基板処理装置内の搬送性および装置内に付着している異物の除去性の両者に優れている、クリーニングシートに好適な粘着剤層およびその製造方法を提供すること。 【解決手段】放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤を硬化させて粘着剤層を形成する工程を有する粘着剤層を製造する方法であって、前記粘着剤層の表面に、連続な凸部を有する転写用型を転写することにより、連続な凹部を形成する工程を有し、前記粘着剤層の引張り弾性率が、１ＭＰａ〜３０ＭＰａであること特徴とする粘着剤層の製造方法。 【選択図】図１