Element a quartz pour materiel de fabrication de semi-conducteur et procede d'analyse de metal dans un element a quartz

L'invention concerne un element a quartz tel qu'un tube a quartz pour un materiel de fabrication de semi-conducteur capable de traiter a chaud un substrat a traiter sans provoquer de contamination, un procede de fabrication d'un tel element a quartz, un materiel de traitement thermique dote de cet element a quartz, et un procede d'analyse de metal dans un element a quartz. Un echantillon de quartz est immerge dans de l'acide fluorhydrique afin d'exposer une couche a analyser situee a une profondeur prescrite. Sur une surface a nu, un liquide de decomposition tel que l'acide fluorhydrique ou l'acide nitrique est verse goutte a goutte afin de ne decomposer qu'une couche extremement mince a analyser, puis le liquide de decomposition est recupere. Le liquide de decomposition est analyse quantitativement par spectroscopie d'absorption atomique (SAA) ou analogue afin de mesurer une quantite de metal contenue dans le liquide de decomposition. A partir d'une difference des epaisseurs avant et apres la decomposition et d'une surface de liquide de decomposition en goutte a goutte, un volume d'une couche decomposee a analyser est obtenu. A partir de la et de la quantite de metal contenu dans le liquide de decomposition, une concentration de metal contenu dans la couche a analyser, en plus d'un coefficient de diffusion a analyser, est calculee. Avec le coefficient de diffusion ainsi obtenu sous la forme d'un indice, le quartz dans lequel le metal se diffuse avec difficulte est separe. Avec le quartz ainsi separe, un element a quartz utilise pour un materiel de fabrication de semi-conducteur tel qu'un tube a quartz est fabrique.