기판 제조용 분사 노즐 장치

본 발명은 기판 제조용 분사 노즐 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 제조용 분사 노즐 장치는, 공정 챔버의 내부에 구비되며, 기판(Substrate)을 지지하고 회전시키는 스핀 척(Spin Chuck)의 일 측에 위치하고, 스핀 척에 의해 회전하는 기판의 상부면을 향해 약액 또는 세정액을 분사하는 기판 제조용 분사 노즐 장치에 있어서, 약액 또는 세정액을 분사하기 위한 적어도 하나의 노즐 분사구가 구비된 노즐 헤드(Nozzle Head)와, 일단은 노즐 헤드가 연결되고, 타단은 수평 방향으로 회전하거나 수직 방향으로 이동 가능하게 결합되며, 내부에는 외부로부터 공급된 약액 또는 세정액을 적어도 하나의 노즐 분사구로 공급하기 위한 약액 공급관이 형성된 노즐 암(Nozzle Arm)과, 스핀 척의 일 측에 수직 방향으로 길게 형성되고, 노즐 암의 수평 회전 또는 수직 이동을 안내하는 노즐 암 지지부 및 노즐 암의 타단에 연결되며, 노즐 암을 수평 방향으로 회전시키거나 수직 방향으로 이동시키는 노즐 암 구동부를 포함하며, 노즐 암 구동부는, 구동 샤프트의 타단에 연결되며, 구동 샤프트를 수평 방향으로 회전시키는 노즐 암 회전 구동부 및 노즐 암 회전 구동부의 일 측에 연결되며, 노즐 암 회전 구동부를 수직 방향으로 이동시키는 노즐 암 승강 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 제조용 분사 노즐 장치에 따르면, 기판 제조용 분사 노즐 장치의 구조를 단순화 및 소형화하고, 기판 제조 공정의 정확성 및 효율성을 향상시킬 수 있다.