이동용 질량유량조절기 교정장치

본 발명은 질량유량조절기에 연결되어 일정한 유량의 공기를 공급한 후 질량유량조절기의 성능오차를 평가하여 교정하는 질량유량조절기 교정장치에 관한 것으로서, 압축기와, 공기의 온도 및 압력을 조절하고 불순물을 제거하는 압축공기안정화장치와, 질량유량조절기에 일정한 유량으로 공급한 후 상기 질량유량조절기의 오차를 검사하는 기체유량교정장치와, 기체유량교정장치에 공급되는 공기의 압력을 일정하게 제어하는 압력제어밸브와, 공기의 온도, 압력 및 유량을 제어하고, 상기 기체유량교정장치에서 검사된 오차에 따라 질량유량조절기를 교정하는 제어부를 포함하는 질량유량조절기 교정장치를 제공한다.