비정질 금속을 이용한 유연한 압력 센서와, 압력 및 온도를 동시에 감지하는 유연한 이중모드 센서

본 발명은 비정질 금속을 이용한 유연한 압력 센서, 그리고 압력 및 온도를 동시에 감지하는 유연한 이중모드 센서에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예들에 따른 센서들은 비정질 금속으로 전도층을 구성하여 전자 피부용도로 사용할 수 있도록 스트레처블(stretchable)한 특성을 가진다. 그래서, 상기 센서들은 다양한 물리적인 외력에도 전도성을 견고하게 유지하고 압력을 감지하거나 압력 및 온도를 동시에 감지할 수 있다. 게다가, 본 발명의 실시 예에 따른 유연한 이중모드 센서는 비정질 금속을 이용하여 압력 및 온도를 동시에 감지할 수 새로운 전자 피부용 소자이다.