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J2220101 ガラスインプリント用Ni-W電鋳金型上のNi-Wパターンの微細化に関する研究([J222-01]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(1))
J2220101 ガラスインプリント用Ni-W電鋳金型上のNi-Wパターンの微細化に関する研究([J222-01]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(1))
2014
gaku yasui
hiroaki itou
satoru kaneko
masahito kurouti
takesi ozawa
maturigoto dai arai
Keywords:
Nanotechnology
Photolithography
Materials science
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