ИССЛЕДОВАНИЯ МНОГОЧАСТОТНЫХ СВЧ АКУСТИЧЕСКИХ РЕЗОНАТОРОВ НА ОСНОВЕ СЛОИСТОЙ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ “ME1/ALN/ME2/(100) АЛМАЗ”

Выполнен теоретический анализ структуры “Ме1/AlN/Ме1/(100) алмаз”, экспериментальные исследования проводились в области 0.5–10 ГГц на многочастотных акустических резонаторах с различной топологией электродов, изготовленных на основе структуры “Al/AlN/Mo/(100) алмаз”. Получено максимальное значение параметра качества Q ? f 1014 Гц при f = 9.5 ГГц. Для анализа слоистой структуры была разработана программа “HBAR, ver. 2.3”. Показано, что особенности в частотных зависимостях параметров таких резонаторов связаны с поведением нагруженного тонкопленочного преобразователя. Результаты расчета находятся в близком согласии с экспериментально наблюдаемыми. Рассчитаны частотные зависимости эквивалентных параметров резонаторов. Показано, что синтетический монокристалл алмаза IIa типа в сочетании с нитридом алюминия является перспективным для реализации высокодобротных акустоэлектронных СВЧ-устройств.