Lock-in amplifier-based rotating-analyzer spectroscopic ellipsometer with micro-controlled angular frequency

Se describen el diseno, la construccion y la operacion de un elipsometro espectroscopico de analizador rotante. El instrumento hace uso de un amplificador sensible a la fase para procesar la senal optica; esto como una alternativa al analisis de la misma por la tecnica de Trasformada Rapida de Fourier. Cuenta con dispositivos electronicos disenados para controlar la frecuencia de rotacion del prisma analizador, asi como para posicionar el angulo azimutal del prisma polarizador. El elipsometro permite la medicion de la funcion dielectrica en el rango de energias desde 1.7 eV hasta 5.5 eV, tanto en aire como en condiciones de Ultra Alto Vacio (UHV). En UHV Es posible realizar mediciones a temperaturas tan bajas como 150 K. Para evaluar la operacion del elipsometro, se presentan resultados de la medicion de la funcion dielectrica de un numero de semiconductores, en forma especifica, de GaSb, GaAs, InGaAS, CdTe Y CdHgTe.