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1701 多重式静電浮上システム : 第5報:可変キャパシタを利用した電圧制御(OS2-1 ロボティクス・メカトロニクスI,OS2 ロボティクス・メカトロニクス)
1701 多重式静電浮上システム : 第5報:可変キャパシタを利用した電圧制御(OS2-1 ロボティクス・メカトロニクスI,OS2 ロボティクス・メカトロニクス)
2012
katou takasi akira
mizuno tuyosi
isino yuuzi
takasaki masaya
Keywords:
Motion control
Control engineering
Variable capacitor
Electronic engineering
Computer science
Control theory
electrostatic actuator
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