Dispositifs mems comportant des circuits de décharge

L'invention concerne des dispositifs MEMS comportant des circuits de decharge. Selon des modes de realisation, un dispositif MEMS peut inclure un substrat et un ensemble electromecanique realise sur le substrat. Le dispositif MEMS peut inclure en outre un circuit de decharge realise par rapport a l'ensemble electromecanique. Le circuit de decharge peut etre concu pour definir un chemin de formation d'arc prefere en presence d'une condition de decharge affectant l'ensemble electromecanique. Le dispositif MEMS peut etre, par exemple, un dispositif de commutation, un dispositif de capacite, un dispositif de capteur a gyroscope, un dispositif d'accelerometre, un dispositif a ondes acoustiques de surface (SAW), ou un dispositif a ondes acoustiques de volume (BAW). Le circuit de decharge peut inclure un ensemble eclateur comportant un ou plusieurs elements eclateurs concus pour faciliter la realisation du chemin de formation d'arc prefere.