非晶質炭素膜、その形成方法、および非晶質炭素膜を備えた高耐摩耗摺動部材

本発明の非晶質炭素膜は、主成分としての炭素と、非晶質炭素膜全体を１００ａｔ％とした場合に、０．１ａｔ％以上１０ａｔ％以下のケイ素と、を含有する。炭素は、炭素の全体量を１００ａｔ％とした場合に、６０ａｔ％以上９０ａｔ％以下のｓｐ ２ 混成軌道を持つ炭素を含む。また、本発明の非晶質炭素膜の形成方法を開示している。 【図】