Au／n-ZnO／p-Si结构的紫外增强型光电三极管的研制

研究和制作了一种新型Au／n-ZnO／p-Si结构的肖特基发射极、异质结集电极紫外增疆双极型光电三极管．分析了器件原理，测试了I-V特性、C-V特性以及器件的光谱响应，从200到400nm的紫夕流响应灵敏度得到明显增强而对大于400nm的可见光的响应特性得到保留。实验显示Au／n-ZnO／p-Si结构的紫外增强型的光电三极管对紫外光的响应明显增强，对371nm波长的紫外光的灵敏度是普通n-ZnO／p-Si异质结紫外光电二极管道的5～10倍．