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Ar-N 2 混合ガス中における多重磁極RFマグネトロンスパッタ法によるFe-N系薄膜の作製
Ar-N 2 混合ガス中における多重磁極RFマグネトロンスパッタ法によるFe-N系薄膜の作製
2002
kawai katuhiro
kakisita eturou
harada masahiro
tanaka takesi
kawabata takasi
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