具3-氨丙基三乙氧基矽烷/氧化鋁堆疊感測薄膜之離子感測電晶體研究

本論文利用對離子有高感測度的Al2O3作為感測薄膜，再利用自主裝單分子層APTES成長於感測薄膜上作為和生物分子產生鍵結的連接物(Linker)，形成APTES/Al2O3堆疊式感測薄膜應用於離子場效電晶體和延伸式閘極電晶體，藉此製作出高感測度的電性轉換元件作為生物感測器之雛形。 在實驗結果方面，我們利用了接觸角量測去探討Al2O3感測薄膜表面處理的較佳的參數以便提升感測薄膜表面和APTES的鍵結。在量測結果方面，具有APTES/Al2O3堆疊式感測薄膜的延伸式閘極電晶體擁有較好的感測度、遲滯和時漂。其中感測薄膜厚度20nm 且成長APTES的EGFET擁有最佳的感測特性。