Микроморфология поверхности монокристаллических слитков германия, выращенных из расплава

Методами интерференционной профилометрии, оптической и растровой электронной микроскопии изучена морфология ростовой поверхности монокристаллов германия, выращенных направленной кристаллизацией и способом Чохральского. На верхних поверхностях дисков, полученных направленной кристаллизацией, и на боковой цилиндрической поверхности буль, вытянутых по Чохральскому, выявлены устойчивые периодические распределения профиля разных временных масштабов ( 3 и 0.3 с), отражающие изменения кинетики кристаллизации. На основе известных данных о температурных флуктуациях на фронте кристаллизации и измеренных в настоящей работе параметров профиля поверхности кристаллов и скоростей роста проведены оценки значений кинетических коэффициентов к = (2 ? 10-6 7 ? 10-7) м · с-1 · K-1. Двумерная картина распределения неровностей на поверхностях отражает ступенчатый характер роста сингулярных граней {111} по слоевому механизму. На ювенильных поверхностях кристаллов выявлена корреляция между неровностями профиля и периодичностью в распределении дислокационных ямок по радиусу и боковой поверхности кристаллов.