Procédé et appareil permettant de créer une bibliothèque d'évaluation de l'optimisation de grilles

L'invention concerne un procede de traitement d'un substrat utilisant des sequences de traitement d'optimisation de grilles et des bibliotheques d'evaluation qui peuvent inclure des procedures de gravure de grilles, des procedures de gravure avec elimination d'oxyde chimique et des procedures d'evaluation.