露光方法、露光装置、及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法

【課題】膜厚の異なる透過部と反射部を含む着色画素を形成するための露光を、フォトマスクに透過率低減処理を施すことなく、低コストで行うことを可能とする露光方法、露光装置、及び半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供すること。 【解決手段】光透過部用開口パターンと、この光透過部用開口パターンよりも大きい光反射部用開口パターンとを有するフォトマスクを用いて、光源からの光を、最初に前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンのいずれか一方を通して前記基板上に形成された感光性着色樹脂層の前記光透過部形成領域又は光反射部形成領域のいずれか一方に照射し、次いで前記基板を前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンの他方に対応する位置に移動させて、前記光透過部用開口パターン又は光反射部用開口パターンの他方に部分的に重ねて照射。 【選択図】図３